現貨庫存：日本USHIO牛尾分割投影光刻機UX-5894SC

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高分辨率：USHIO 牛尾的投影式光刻機通常采用專業開發的高輸出燈以及設計的投影鏡片，可實現高效率的高解析度曝光，分割投影技術可能進一步優化了分辨率，以滿足更精細的光刻需求。

大口徑投影鏡片：可能配備大口徑投影鏡片，像其常規投影式光刻機一樣，有助于大幅提高良品率，并達到高產能。

深焦點深度：焦點深度較深，厚膜光阻與變形膠卷均能適用，也可對非平面晶圓進行適當曝光，在分割投影時也能保證各部分曝光的準確性和一致性。

自動對焦與對準：具備自動對焦機能和高精度的對準系統，如采用 TTL 非曝光波長對準系統，可通過圖像處理檢測并固定掩模和工件的對準標記，即使是整體涂鉻的小掩模也能輕易識別工作記號，還能自動檢測基板伸縮導致的圖案變化并調整投影倍率，確保分割投影時圖案的精確對準和拼接。

適用多種基板：可適用于多種類型的基板，如玻璃基板、陶瓷基板、印刷電路板等，以及寬幅及薄型膠卷，分割投影技術不會對基板的適用性造成限制，反而可能增強對不同形狀和尺寸基板的處理能力。

高均勻性照明：照明光學系統能有效集中光源發出的光，以高度均勻、高平行的方式照射掩模，通過在鏡面上實施特殊涂裝，可選擇曝光波長并阻隔熱線，保證分割投影區域內的照明均勻性，提高光刻圖案的質量。

掩模損傷小：投影曝光方式無需掩模與工件接觸，可避免掩模損傷，在分割投影過程中，同樣能保護掩模，減少因掩模損壞導致的光刻誤差和成本增加。

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