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現品庫存:日本ORC半導體用光刻設備
產品簡介:

現品庫存:日本ORC半導體用光刻設備PPS-8300P1
兼容多種應用:可兼容 WL-CSP、IGBT、CIS 等 6/8/12 英寸光刻技術,適用于多種半導體制造場景。
寬頻譜光刻:具備寬帶曝光功能,可根據配方自動切換 GHI 線、GH 線、I 線,滿足不同光刻工藝對波長的需求。

產品型號:PPS-8300P1

更新時間:2025-04-24

廠商性質:經銷商

訪問量:196

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現品庫存:日本ORC半導體用光刻設備PPS-8300P1

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現品庫存:日本ORC半導體用光刻設備PPS-8300P1

兼容多種應用:可兼容 WL-CSP、IGBT、CIS 等 6/8/12 英寸光刻技術,適用于多種半導體制造場景。

寬頻譜光刻:具備寬帶曝光功能,可根據配方自動切換 GHI 線、GH 線、I 線,滿足不同光刻工藝對波長的需求。

可變數值孔徑:搭載可變 NA 功能,數值孔徑可在 0.16 和 0.1 之間變化,能夠根據不同的光刻精度要求進行調整。

多場拼接設計:最多支持 8 場光罩設計格式,可實現較大面積的光刻圖案制作。

光學系統保護:能保護光學元件免受周圍環境中的阻滯氣體和化學物質的影響,提高設備的穩定性和使用壽命。

主要參數:晶圓尺寸為 6/8/12 英寸,分辨率為 2.0μmL/s(2.0μm 抗蝕劑厚度),減速比為 1:1,字段大小為 52 毫米 ×33 毫米,光罩尺寸為 6 寸,疊加精度≦0.5 微米(|Ave|+3σ)。

工作原理:利用特定光源發出的光,通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的硅片進行曝光,光刻膠見光后發生性質變化,從而將光罩上的圖形復印到硅片上,使硅片具備電子線路圖的功能。

核心系統:光源系統:是光刻機的核心之一,其波長直接決定光刻精度。早期采用汞燈,如 g - line(436nm)和 i - line(365nm),可滿足 800 - 250nm 制程芯片生產。之后準分子激光光源興起,如第三代光刻機用 248nm 的 KrF 準分子激光,可用于 180 - 130nm 工藝節點;第四代用 193nm 的 ArF 準分子激光,配合浸沒式技術、雙圖形技術等,可應用于 10nm 節點量產。目前的是采用 13.5nm 極紫外光(EUV)的第五代光刻機。

光刻物鏡系統:保證光源精準成像在晶圓表面的關鍵組件。隨著技術發展,投影物鏡結構更復雜、尺寸增大,工作波長多處于紫外波段,如 KrF(248nm)、ArF(193nm)和 EUV(13.5nm)。

雙工作臺系統:由測量臺與曝光臺組成,一個工作臺曝光時,另一個可進行晶圓的裝載、卸載和對準等操作,提高了光刻機的產能。




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